FBV075040-10008 (вакуум)

Линейная сборка (вакуум), пьезоэлектрический двигатель
Описание: 
  • Диапазон перемещения до 40 мм
  • Двигатель: HR8
  • Скорость до 200 мм/с
  • Грузоподъемность до 3 кг
  • Разрешение датчика 0,1 мкм (не более 10 нм)
Механические характеристики конструкции:
  • Материал конструкции сборки: Алюминий
  • Двигатель: пьезоэлектрический, ультразвуковая стоячая волна
  • Линейные подшипники: прецизионный перекрестно-роликовый подшипник
  • Энкодер: линейная оптическая шкала с периодом сигнала 20 мкм и разрешением 0,1 мкм, с референсной меткой
  • Длина кабеля: 3 м
  • Среднее время наработки на отказ: 30 000 часов
  • Масса сборки (г): 755
  • Масса подвижной части сборки (г): 302
Технические характеристики:

  • Диапазон перемещения (мм): 40
  • Разрешение датчика (мкм): стандарт 0,1; (опционально 10 нм)
  • Двунаправленная повторяемость (мкм): стандарт 1,0; (опционально 0,1 мкм)
  •  Максимальная скорость (мм/с): 200
  • Прямолинейность и плоскостность (мкм): +/- 4
  • Рыскание и тангаж (мкРад) +/- 40
  • Грузоподъемность (горизонтальная) (кг): 3
  • Грузоподъемность (вертикальный подъем) (кг): 1,0
  • Динамическая блокирующая сила (Н): 32
  • Жесткость двигателя (Н/м): 3,0

Параметры дегазации:
Коэффициент полной потери массы в вакууме, TML < 1%
Содержание летучих конденсирующихся веществ, CVCM < 0,1%

Модификации:
  • FBV075040-10004 сборка для высокого вакуума до 10^-7 Торр
  • FBU075040-10004 сборка для сверхвысокого вакуума до 10^-10 Торр

Статус:
Стандартный

FBV075040-10008 линейная сборка (вакуум)
FBV075040-10008 линейная сборка (вакуум)