FBV050020-10004 (вакуум)

Пьезоэлектрический двигатель. Линейная сборка (вакуум).  Производитель: NANOMOTION

Описание:

Диапазон перемещения до 20 мм
Двигатель: HR4
Скорость до 200 мм/с
Грузоподъемность до 2 кг
Разрешение датчика 0,1 мкм (не более 10 нм)
Механические характеристики конструкции:
Материал конструкции сборки: Алюминий
Двигатель: пьезоэлектрический, ультразвуковая стоячая волна
Линейные подшипники: прецизионный перекрестно-роликовый подшипник
Энкодер: линейная оптическая шкала с периодом сигнала 20 мкм и разрешением 0,1 мкм, с референсной меткой
Длина кабеля: 3 м
Среднее время наработки на отказ: 30 000 часов
Масса сборки (г): 400
Масса подвижной части сборки (г): 150

Технические характеристики: 

  Диапазон перемещения (мм): 20
Разрешение датчика (мкм): стандарт 0,1; (опционально 10 нм)
Двунаправленная повторяемость (мкм): стандарт 1,0; (опционально 0,1 мкм)
Максимальная скорость (мм/с): 200
Прямолинейность и плоскостность (мкм): +/- 2
Рыскание и тангаж (мкРад) +/- 25
Грузоподъемность (горизонтальная) (кг): 1
Грузоподъемность (вертикальный подъем) (кг): 0,65
Динамическая блокирующая сила (Н): 16
Жесткость двигателя (Н/м): 2,8 
Параметры дегазации:
Коэффициент полной потери массы в вакууме, TML < 1%
Содержание летучих конденсирующихся веществ, CVCM < 0,1%

Модификации:

FBV050020-10004 сборка для высокого вакуума до 10^-7 Торр
FBU050020-10004 сборка для сверхвысокого вакуума до 10^-10 Торр

Статус:

Стандарный

Производитель: NANOMOTION